该晶圆造成厂处于华中沿海地区,重点出产的8寸大半导晶圆,平均电镀废水排卸量约800吨。基于出产的过程中 中食用很多氢氧化钠采取晶圆蚀刻,引起电镀废水里面的氟化物氧浓度超过200-300mg/L,远超政府排卸细则(10mg/L低于)。
废水处理的成分及特征
废污水一般发源这三个缓解:
晶圆蚀刻环节
:含高密度氟化物(HF)、氯化铵及大量血本属
电化学自动化机械打磨(CMP)废污水
:含奈米级硅颗粒状、有机物络合剂
设备难以清理污废水
:含异丙醇、高锰酸盐指数等有机质物
净化处理的工艺标准流程
分为"无机化学析出物中+混疑析出物中+深入过虑"3级清理软件系统:
四级治疗
:加药系统氯化钙和氢氧化反应钙,形成了氟化钙析出,氟化物的还原率达85%
下级进行处理
:生成PAC(聚合物氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),我们要除橡胶胶体部分态废弃物物
三級加工
:在多有机溶剂脱水器和灵家用活性炭吸附物,溢水氟化物氧浓度不稳定性在8mg/L下例
至关重要设施设备也包括:pH定时可以调节系統、斜管沉定池、板框压泥机(污水脱水等)。
决定性效率
建设项目程序运行四年评估参数信息显示:
氟化物总值有机废气浓度:7.2mg/L(不高于政府标准单位)
COD删去率:92%
污泥干化水分含量率:≤65%
年回报氟化钙副软件约150吨,保证 影视污泥处置充分利用