该厂为8英尺晶圆分娩线配套方案的超去离子水系统化，每天都在存在含硅废水治理150吨。废水治理中虽无血本属，但硅成分高易积垢，且阻值率需以达到18MΩ·cm就能够使用。原先的治工院艺没法做到新颁布实施的《光学企业水废弃物物尾气排放量规范标准》（GB39731-2020）特别的尾气排放量规定值。 化工废水营养成分共同点 主要是影响物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗粒物硅（粒度分布0.1-1μm） 特种标准要求 ：TOC<10μg/L，硼含锌量<5μg/L 污水水质性状 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅化学物质特性僵化 清理制作工艺程序流程 自主创新采取"梯级膜溶合+电去阴离子"结合生产技术： 微滤预清理 ：1μm淘瓷膜屏蔽大小粒硅，通量形成80LMH 阳离子互换硅橡胶 ：D201大孔树脂胶取舍性吸收硅酸团伙 三级RO整体 ：首段收废率60%，二是段使用高脱硼膜器件 EDI电去化合物 ：直流电密度单位2A/m²，一直除去残余物铝离子 UV紫外线消菌 ：254nm红外光谱线含水量40mJ/cm² 技術创新举措 开发技术专用的阻硅剂（充分胺类符合物），减轻膜感染定期3倍 EDI模快创新技术流道制定，硅除掉率加强至99.8% 免费在线硅阐述仪（量测规模0.1-500μg/L）保持精准性的管控 操作取得的成绩 经三方协议书判断： 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼含水量从8μg/L降落到0.3μg/L 模式收购 率从原40%提高至68% 膜撤换寿命延迟至5年，年正常运作成本价减轻35%