半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体材料一个首测一体化涉重生活污水——MVR强制性嵌套循环零排内容
項目背景图片
光电器件精致测封新活动,投资规模150m³米/天,是首只光电器件测封配置涉重生产电镀废水零排新活动。测封部分的镀镍、镀铜、引线架构洁净会带来含镍含铜生产电镀废水,园区规划规范"无尾水外排",产水所有 使用于产线。
水质标准结构特征与困难
废污水以含镍主(盐浓度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH震荡大(2–12),有着光刻胶使用量的少量出巧妙物。公测厂用地紧,规范要求进行处理公用设施拆迁赔偿小;零排暗示着着浓水无法清运太少,需求地方减压蒸馏沉淀开环。
处置施工工艺自驾线路
总体走"分质汇集 → 预正确处理除杂 → 化学式凝固除镍 → 进行过滤 → UF+有级RO → MVR直接嵌套循环挥发 → 蒸汽加热水回收利用":
含镍线先调pH到10–11,加药系统氢钝化钠转为Ni(OH)₂沉积,后加加硫钠深层次收集稳定度镍(加硫镍Ksp比氢钝化镍更小,能能镍压到0.1毫克/升以下的);
沉定冒水经多导电介质滤水+保卫滤水后进UF,再进五级RO,产水直接性回产线除污;
RO浓水(含盐+残留物巨资属)进MVR二次性要求反复的空调冷凝器器,二次性要求反复的能扛高含盐积垢,空调冷凝器器带有再线洗涤,不能堵;
MVR冷却水水赶回到工业废水处理池子,减压蒸馏残液委外焚烧秸秆或成为危险废物应急处置,所有工厂无等离子态外排。
的关键机械长处描述
MVR二次嵌套再循环相对于普通的降膜减压蒸馏器,嵌套再循环气速高、热传导面不可以结镍盐/碳酸盐垢,比较合适首测这个"供水量不高但水质量杂"的景象;一起化撬装设计制作征占比中国传统减压蒸馏器塘+多效减压蒸馏器实施方案小60%不低于;臭味侧相互配套生物制品滤池,把自动调节池和污泥处理间的臭味提取后溶解成CO₂和水,避免出现首测厂邻近接待室区的怪味投诉举报。
解决效率与高效益
有水出镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远低于《化学镍被污染的物减排规范》表三;大部分150万立米/天产水回收利用于测封产线清洁工作,带替等量新鲜感水;危险废物(蒸发器残液+活性污泥)量比过去的"析出+减排"基本模式减约70%。对富士康侧,测封項目节能准入条件卡点打架通;